通信世界网消息(CWW)据digitimes报道,市场调查机构Yole Developpement的报告显示,虽然存储市场具有季节和周期性波动的特性,但全球NAND存储市场规模仍会呈增长态势。其中,3D NAND存储晶圆制造设备市场规模也会同步增长,该市场规模将会由2019的102亿美元增长至2025年的175亿美元,年复合增长率达到9%。
从技术方面看,虽然各存储制造厂商在提高3D NAND层数和整体晶粒储存密度上会有各自不同策略,但大致可区分为串堆叠(string stacking)、储存单元架构(cell architecture),与逻辑电路设计等3个重点范畴。
从设备厂商的角度看,阿斯麦(ASML)、应材(Applied Materials)、东京威力科创(Tokyo Electron)和科林研发(Lam Research)为前四大3D NAND存储晶圆制造设备厂商,合计共占70%以上市场。
众所周知,ASML为微影设备领域领导厂商。科林研发除了引领蚀刻设备,也在积极拓展化学气相沉积(CVD)与原子层沉积(ALD)设备市场。目前科林研发、应材、东京威力科创在CVD、ALD、物理气相沉积(PVD),以及蚀刻设备等市场中竞争激烈。