对先进工艺来说，ASML的光刻机必不可少，最先进的EUV光刻机售价将近10亿元，投资巨大，而且购买EUV光刻机门槛也很高，全球也只有三家公司购买。
报道指出，目前ASML的EUV光刻机不是想买就能买的，半导体厂商需要有7nm及以下工艺的生产能力才行，目前主要就是台积电、三星及Intel三家。
在ASML公司2020年签订的86台EUV光刻机订单中，台积电最为霸气，购买了44台，占了一半多，其次是三星，购买19台，Intel也购买了18台。
当然，这三家都是用于逻辑芯片生产的，如果考虑到内存行业，那么SK海力士也加入了EUV光刻机购买大军，前不久与ASML签订协议，斥资43.4亿美元购买EUV光刻机。
由于EUV光刻机极为昂贵，所以它的销量在ASML中只占12%，但营收缺占了45%，2023年的营收甚至会比2020年提升一倍多。
