公元前4世纪，古希腊科学家亚里士多德提出了“机器人”的设想：如果每一件工具都能被安排好或是自然而然地做那些适合它们的工作，那就不用再有师徒或主奴了。
公元前3世纪，古希腊神话中的发明家代达罗斯用青铜为克里特岛国王迈诺斯塑造了一个守卫宝岛的机械巨人“塔罗斯”，表示当时的人们已经有了对于“机器人”的幻想。公元前2世纪，古希腊人发明了一个以空气和蒸汽压力作为动力的机器人。
500多年前，意大利画家、科学家达·芬奇绘制了西方文明世界的第一款人形机器人，它以风能和水力为驱动力，用齿轮作为驱动装置，让两个机械杆的齿轮与胸部的一个圆盘齿轮咬合，机器人就可以挥舞胳膊，可以坐或者站立。后来，一群意大利工程师根据达·芬奇留下的草图，耗时15年造出了被称作“机器武士”的机器人。
1768-1774年年间，瑞士钟表名匠雅克·德罗父子3人设计制造出3个像真人一样大小的机器人——写字机器人、绘图机器人和弹风琴机器人。
1893年，加拿大人乔治·摩尔设计了能行走的机器人，是以蒸汽为动力的，行进速度可达14km/h。
1927年，美国西屋电器工程师温斯利制造了一个名为“Televox”机器人，并在纽约举行的世界博览会上展出。
1928年，一位日本生物学家研发出了日本第一台人形机器人Gakutensoku。
1928年，两位英国“一战”老兵理查兹和雷费尔发明了人形机器人Eric Robot。该机器人内置了驱动装置，外皮由铝制成，并且能够站立，四肢和头部都可以活动。
1933年，美国西屋电气的工程师温斯利带领团队发明了一款名为Elektro的机器人。这款机器人有躯干、手臂和腿，主要材质为铝，其他部件则是用工厂里的东西拼凑出来的——熨斗的电源线、咖啡壶、华夫饼机、真空吸尘器的轮子。
1935年，这个由哈利·梅发明的机器人受到了很大争议，它会遵守简单的命令，还能开枪（没有子弹）。
1939年，瑞典发明家奥古斯特·哈蒙发明的电波机器人长相奇怪，身材比例也不协调，却可以接受无线电波传送的指令，从而实现“行走”的目的。
1951年，美国人克利福德·兰蒂斯设计了一款机器人，它可以演示完美的高尔夫挥杆动作。
1953年，美国工程师哈维·查普曼发明了机器人Garco，它能从报废的飞机零件中回收简单的物品，除此之外，它还可以做一些家务活或执行危险任务。
1963年，NASA造出了一个名为“机动多关节假人”的机器人“试穿”宇航服，它能模拟出35种基本的人类动作。
1973年，日本早稻田大学的加藤一郎带领团队，研发出世界上第一台真人大小的人形智能机器人——WABOT-1。该机器人包含肢体控制系统、视觉系统和对话系统，有两只手、两条腿，胸部装有两个摄像头，手部还装有触觉传感器。
E系列机器人
1986年，本田开发了双足机器人E0，不过这个机器人直到1996年才被公布出来，这个双足机器人是机器人历史中的一个里程碑。
1989年，西北太平洋国家实验室为美国军队建造了机器人Manny。Manny与真人一样大小，可以模拟人类复杂的身体运动和姿势、呼吸、皮肤温度以及出汗的状态。
P系列机器人
1993-1997年，日本本田公司相继开发了P1、P2、P3机器人。P1是本田于1993年开发的第1个仿人机器人原型，它可以执行简单的任务。P2是本田P系列中的第2个仿人机器人原型，它有内置的无线技术，用于数据传输和通信。P3是本田P系列的第3个仿人机器人原型，于1997年完成，身高160cm，重130kg，拥有28自由度。
1998年，本田公司联合川田工业公司和国家先进工业科学技术研究所(AIST)共同发布了全新的机器人系列——HRP。为了使手指移动得更好，研究人员在它双手的每个关节上都安装了先进的执行机构。它的眼睛中安装了两个立体摄影机，还具有远程通信功能，可被用户远程控制。
2000年，P系列中的第4台也是最后一台机器人——P4诞生，而它还有通俗称呼——阿西莫（ASIMO）。
2000年，我国独立研制的第一台具有人类外形、能模拟人类基本动作的人形机器人在国防科技大学问世。这台定名为“先行者”的类人型机器人，不但具有类人一样的头部、眼睛、脖颈、身躯、双臂与两足，而且具备了一定的语言功能。
2005年，位于英国康沃尔郡彭林的Engineered Arts有限公司开发了一款名为Robothespian的机器人，它由铝材打造，头部设置有扩音器和摄像头，可识别语音、人脸和手势，精通多门语言。
2007年，Anybots公司研发了一个名叫Dexter的机器人，它可以像人一样行走甚至跳跃，并在落地后保持平衡。
2010年11月，一个叫作Robonaut2的机器宇航员乘着美国的“发现号”航天飞机进入太空，成了第1个进入国际空间站的机器人。
2011年，波士顿动力公司推出一款专门测试化学防护服装的现代机器人PETMAN，它以其自然灵活的动作而闻名，甚至能做俯卧撑。它能帮助人类模拟在现实条件下，在防护服内是如何受到压力的。
2013年，丰田开发的机器人Kirobo被送往国际空间站，它的设计灵感来源于“阿童木”。Kirobo能在无重力的条件下安全开展工作，具备面部识别功能，并且能跟宇航员进行对话。
2014年，初代Atlas机器人正式发布，它已经能在不太平坦的道路上顺畅行走，还能在遇到不太大的冲击时保持平衡。
2015年，第二代Atlas背上了大电池并摆脱了电源线，全身75%的部分被重新设计，变得更加精致、协调。液压泵的使用让Atlas的速度、力量都得到了提升。
2016年，Atlas再次迎来进化，此时，Atlas已经能自主完成搬运东西、开门等动作，遇到较强冲击力时可以像人类一样，踉跄两步后立刻找到平衡。最令人吃惊的是，它在摔倒后能够自己站起来。
2017年11月，Atlas完成了一个标准的后空翻，还能立定跳远。然后仅仅过去半年，Atlas又完成了在草地上自由奔跑并跨过木桩。2018年10月12日，Atlas已经可以左右脚交替三连跳，跳上高40cm的台阶。
