ASML回应荷兰半导体出口管制新规:并非所有浸润式DUV系统都要申请许可证

责任编辑:朱文凤 2023.06.30 18:10 来源:通信世界全媒体

通信世界网消息(CWW)6月30日,荷兰政府颁布了有关半导体设备出口管制的新条例。ASML在公告中指出,这些新的出口管制条例针对对象为先进的芯片制造技术,包括最先进的沉积设备和浸润式光刻系统。

根据新出口管制条例规定,ASML需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统(只涉及TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统),荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证,并将向ASML提供许可证所附条件的细节。

新出口管制条例将于2023年9月1日生效,在此日期前,ASML可开始提交出口许可证申请。荷兰政府将视具体情况批准或拒绝这些申请。ASML表示,将继续遵守适用的出口管制条例,其中包括荷兰、欧盟及美国的出口管制条例。

此前,ASML的EUV光刻系统已经受到限制,但其他光刻系统的发运未受荷兰政府管控。


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